Microlithography : process technology for IC fabrication : OPAC USU Library

Microlithography : process technology for IC fabrication

621.381 73 Ell m

Elliott, David J.

Judul :	Microlithography : process technology for IC fabrication
No. Panggil :	621.381 73 Ell m
Penerbit :	McGraw Hill
Edisi :
Tahun :	1986
ISBN :	0-07-019304-5
Deskripsi :	xix, 378 p. : ilus. ; 25 cm.
No. Klasifikasi :	621.381 73
Golongan :	Ilmu Terapan dan Teknologi
Subyek :	INTEGRATED CIRCUIT-VERY LARGE SCALE INTEGRATION-DESIGN AND CONSTRUCTION;MICROLITHOGRAPHY
Bahasa :	ENG
Jenis :	Buku
Catatan Umum :	Bib. : setiap akhir bab ; Ind. : p. 371 - 378
Jumlah Eksemplar :	3
Terpinjam :	0
Tersedia :	3

Barcode	Lokasi	Status	Tipe*	Tanggal Pinjam	Tanggal Harus Kembali
9038447	Perpustakaan Universitas	Ada	STD
9038446	Perpustakaan Universitas	Ada	STD
9038445	Perpustakaan Universitas	Ada	STD

Tipe* :
STD = Koleksi standar berada di Lt. 2, Lt. 3 atau Lt. 4 Perpustakaan USU atau di Perpustakaan Cabang.
KPS = Koleksi pinjam singkat berada di bagian KPS (Koleksi Pinjam Singkat) Lt. 1 Perpustakaan USU.